Исследователи из Georgia Institute of Technology представили новую методику проектирования интегральных фотонных волноводных изгибов. Работа описана в статье «Low-loss ultra-compact photonic bends with enhanced fabrication tolerance for commercial foundry processes», опубликованной в журнале Optics Letters.
Методика и основной подход
Авторы экспериментально подтвердили работоспособность высокопроизводительных волноводных изгибов с радиусом 2,3 мкм и крайне компактным занимаемым пространством. Подход основан на использовании topology optimization framework с введением, как отмечают авторы, нового ограничения по контуру (novel contour constraint).
Согласно аннотации, это контурное ограничение позволяет:
- повысить характеристики фотонных изгибов,
- снизить чувствительность к вариациям технологического процесса,
- при этом сохранить соответствие design rule checks коммерческих фабрик.
Акцент на технологической терпимости
Работа ориентирована на повышенную технологическую терпимость при одновременном получении ультракомпактных фотонных изгибов с низкими потерями, совместимых с коммерческими foundry-процессами.
Статья подготовлена Joshua J. Wong, Robert P. Pesch, Archana Kaushalram, Jacob M. Hiesener и Stephen E. Ralph и опубликована в Optics Letters 51, № 18 (2026): 5185–5188. DOI: 10.1364/OL.611581.
Источник: Semiconductor Engineering
